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    本文研制了一套多功能真空校準裝置,該裝置選用靜態比對法、動態比對法以及質譜比對法的校準原理研制而成,通過設計不同量程的電容薄膜規組成標準規組的方法,解決了單一標準規在滿量程范圍內精度偏差的問題。

  • 多功能真空校準裝置的主要性能指標

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  • 多功能真空校準裝置的校準原理方法

    本文講述了多功能真空校準裝置的校準原理方法,主要是真空規校準、漏孔校準。

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    本文設計了朗繆爾探針檢測裝置并使用OES 光譜檢測儀對ECWR 設備放電時的等離子體參數進行檢測,并對檢測結果進行了分析。

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